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潔凈工程的發(fā)展誕生詳解

2019-07-17 閱讀 30490

    現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)和現(xiàn)代化科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動(dòng)要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性,國(guó)內(nèi)外的潔凈工程的發(fā)展都是隨著科學(xué)工程的發(fā)展、工業(yè)產(chǎn)品的日新月異,特別是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫(yī)藥等工業(yè)的發(fā)展而不斷發(fā)展。

    高純度的產(chǎn)品,如生產(chǎn)集成電路所需單晶硅材料,生產(chǎn)光纖所需四敘化硅、四氯化錯(cuò)材料等已由過(guò)去的所謂高純進(jìn)入“電子純”“超純”,只有達(dá)到如此高的純度才能達(dá)到現(xiàn)代集成電路、電子元器件、光纖產(chǎn)品所需的工程特性。要生產(chǎn)如此高純度的產(chǎn)品,就必須達(dá)到相應(yīng)的受控生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)和具有相應(yīng)高純度的與產(chǎn)品直接接觸的超純水、超純氣體、超純?cè)噭┑??;谶@種趨勢(shì),潔凈工程的發(fā)展已成為現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動(dòng)不可缺少的重要標(biāo)志之一。

    20世紀(jì)60年代的潔凈工程在美國(guó)、歐洲等發(fā)達(dá)國(guó)家順應(yīng)各行各業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動(dòng)的需要得到了廣泛應(yīng)用,可以認(rèn)為是潔凈工程的大發(fā)展時(shí)期。我國(guó)的潔凈工程開(kāi)始于20世紀(jì)60年代初,在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導(dǎo)體集成電路用潔凈室的設(shè)計(jì)、建造發(fā)展很快,相繼建成一批潔凈廠房,并研制成功100級(jí)單向流潔凈室。

    與此同時(shí),潔凈工程的潔凈廠房用設(shè)備和材料,如高效過(guò)濾器,潔凈工作臺(tái)、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功,并投入生產(chǎn),雖然制造質(zhì)量和某些工程指標(biāo)與國(guó)際水平尚有差距,但已能滿(mǎn)足國(guó)內(nèi)部分需求。

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